...在该系统中VCM致动器作为第一级致动器控制磁头进行粗定位，主要运动于低频段，用于寻道控制；第二级的微致动器(Micro Actuator，MA)(通常为压电陶瓷微致动器)作为精定位致动器进行精确定位和磁道跟踪，此时该级致动器运动于高频段，用于定...
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Micro-actuator 微执行器
U-type micro-actuator U形微致动器
micro actuator arrays 微致动器阵列
thermal micro-actuator 热微执行器
magnetic micro-actuator 磁微执行器
Magnetic Micro Actuator 磁微执行器
piezoelectric micro actuator 压电微驱动器
piezoelectric micro-actuator 压电微致动器
The displacement of the micro actuator is measured by using the stereo vision micromanipulation systems.
显微立体成像微操作系统上测试了二维微执行器的位移性能。
参考来源 - 柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用The micro actuator of electromagnetic micro pipe robots is designed by optimizing design methods. An electromagnetic micro pipe robot was designed and made.
分析了微管道机器人移动原理，阐述了电磁式微管道机器人的设计，用最优化设计方法，设计了电磁式微管道机器人的微驱动器，阐明了电磁式微管道机器人的组成与结构。
参考来源 - 微管道机器人及其智能控制系统的研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
以上来源于: WordNet
Electromagnetic micromotor is an ideal micro actuator for MEMS, micro robot and micro movable elements, because of it's large output torque, long lifetime and easy in practical applications.
电磁型微马达以其输出力矩大、运行寿命长、易于实用化的优点成为微机电系统、微型机器人和微型可动部件理想的驱动器。
Nanometer scale step standards are the keys for dimension transfer, and they are the important tools to evaluate and calibrate micro actuator and micro position devices such as piezoelectric scanner.
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节，也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。
A flexural oscillation model about V-shaped silicon electro-thermal micro actuator is presented.
提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。
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