微硅加速度计
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micro silicon accelerometer 硅微型加速度计
Develop of Cantalever Micro-silicon Accelerometer 悬臂梁式硅微加速度计的研制
silicon micro-accelerometer 硅微加速度计
silicon-micro tunneling accelerometer 硅微隧道式加速度计
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Silicon micro-accelerometer can measure the acceleration of the movement, and there are many kinds of Micro-accelerometer based on piezoelectric, tunnel, piezoresistive, capacitive effect.
硅微机械加速度计作为一种可以测量加速度的传感器，可分为压电式、隧道式、压阻式和电容式等。
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