因此在整合电路（on-chip circuitry）与微结构（microstructure）或微感测器（micro-sensors）方面，面型微 矽加工都比体型加工法占有优势，但是此两种方式在微机电制程技术中的优劣是 无法比较的，这要看所要制作的元件特性...
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...微型传感器（Micro-sensors）一直为工程业界不可或缺的研究和数据采集工具，其用途亦日渐宽广，以致涵盖生物力学（Biomechanics）、汽车结构（Automobile）和...
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Micro sensors 微传感器 ; 微型传感器
Micro Image Sensors 微型图像传感器
Micro Tactile Sensors 微型触觉传感器
Micro Pressure Sensors 微型压力传感器
Micro Resonant Sensors 微型谐振式传感器
Micro Biological Sensors 微型生物传感器
micro sun sensors 微型太阳敏感器
micro gas sensors 微气体传感器
In recent years, micro electro-mechanical system (MEMS) has been developing rapidly. Mechanical and electronic systems can be integrated in a small size, such as micro-reducer, micro-sensors and micro-actuators.
近年来,微机电系统(MEMS)得到了迅速发展,并由此出现了在微小尺寸内集成机械和电子系统的微系统,如微型减速器、微传感器、微驱动器等。
参考来源 - 柔性微抓取器结构及驱动设计·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
The structural and territorial design of PZT thin film micro-sensors is processed.
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微传感器进行了结构和版图设计。
According to practical applications, the micro-sensors and the electronic devices can be powered forever by energy harvesting.
针对具体应用环境，为微型传感器和电子器件的长期自供能提供了思路。
The unsteady surface pressure on stator blade of an axial compressor was measured by means of mounting micro-sensors on blades surface.
本文对一台单级轴流压气机静子叶片非定常表面压力进行了测量。
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