中频磁控溅射(Mid Frequency Magnetron Sputtering)
...）对不同厚度的薄膜表面形貌、微观结构进行了分析，测定了薄膜的厚度和硬度，研究了薄膜的摩擦学性能，并与中频磁控溅射（MFMS）技术制备的CrNx进行比较。结果表明，使用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术（HPPUMS）能制备致密的CrNx薄膜。
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[产品推广] 支持冒险岛(MFMS)星球大战OL [复制链接]
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从20世纪末开始，越来越多的企业采用工作流技术作为网络时代业务流程管理体制的主要工具，并相应建立工作流管理系统（MFMS）。
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