...）对不同厚度的薄膜表面形貌、微观结构进行了分析，测定了薄膜的厚度和硬度，研究了薄膜的摩擦学性能，并与中频磁控溅射（MFMS）技术制备的CrNx进行比较。结果表明，使用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术（HPPUMS）能制备致密的CrNx薄膜。
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This article briefly introduces UK- research trends of MFMS ( microelectronics and machinery system) micro transducers and MEMS microsystems in American biomedical circle.
本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS（ 微电子机械系统） 微传感器和MEMS 微系统的研究动向。
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