MEVVA ion implantation MEVVA离子注入
Phase transition, enhanced diffusion and Y-Al alloy formation are studied using Y implantation with high current extracted from metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source.
利用金属蒸汽真空弧（MEVVA）源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件。
To achieve co-implantation without additional ion sources, the required implants are mixed to form a cathode of MEVVA ion source.
将不同单质机械混合，在不增加注入机离子源数目的基础上实现了不同离子的共注入。
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