金属纳米粒子复合材料的玻璃是由铜离子注入硅胶，采用金属蒸气真空弧（MEVVA）离子源。纳米簇的微观结构的性质的光吸收光谱，和透射电子显微镜（TEM）进行了分析。
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此外，此工作包括初步工作进行了探索的氩等离子体离子源的生存能力和铋的金属蒸汽真空电弧（MEVVA）离子源。对于前者的离子源中，快速的上升时间（〜1μs的），高电流密度（〜100 mA/cm2时）和低的操作压力（<2毫乇）进行了验证。
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为了使离子注入表面改性的效果更好，已经开发出金属蒸汽真空弧离子注入机（MEVVA）和气体-金属弧离子注入机（TITAN），使高剂量大面积离子注入变得简单易行，特别是后者能同时或分别引出气体和金属元素离子束流，...
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MEVVA技术 MEVVA technique
MEVVA technique MEVVA技术
MEVVA source MEVVA源
MEVVA discharge MEVVA放电
MEVVA implantation 金属蒸发真空弧注入
MEVVA ion source MEVVA源
MEVVA plasma source MEVVA等离子体源
To achieve co-implantation without additional ion sources, the required implants are mixed to form a cathode of MEVVA ion source.
将不同单质机械混合，在不增加注入机离子源数目的基础上实现了不同离子的共注入。
According to the features of the MEVVA ion source which produces multiple charged silver ions, the present results are discussed and compared with those from literatures.
根据MEVVA离子源产生多电荷态银离子的特点，讨论了本实验研究的结果，并与文献的结果进行了比较。
Phase transition, enhanced diffusion and Y-Al alloy formation are studied using Y implantation with high current extracted from metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source.
利用金属蒸汽真空弧（MEVVA）源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件。
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