(三)属闸极(Metal gate):1. 清洁样品:同样的跟第二道平台时刻的过程相同,也是必用到三氯乙烯的 震洗,接著的步骤包含,光阻涂布、软烤、曝光、显影的...
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高k门电介质与金属栅极(Metal Gate)的完美结合可以显著减少电流泄露现象,同时保持极高的晶体管性能,英特尔认为这些新发现完全可以集成到十分经济的大规模制造过程...
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High-k Metal Gate 金属闸极 ; 金属闸 ; 高电介质金属栅极
metal gate transistor 金属栅晶体管
metal gate technique 金属栅技术
metal gate electrode 金属栅电极
refractory metal gate 耐熔金属栅
outward swinging metal gate 外掩铁闸
collapsible metal gate 可折叠金属栅栏门
metal-gate CMOS 金属栅CMOS
sheet-metal gate 金属板院门
First,the thesis investigated the fabrication process and characteristics of Ni FUSI metal gate formed from solid reaction of a-Si and Ni by sputtering on three different SiO_2 thickness. The WF of the FUSI metal gate is 4.40 eV.
首先,论文研究了三种不同厚度的氧化层上通过溅射a-Si和金属Ni进行固相反应形成Ni FUSI金属栅的工艺及特性,形成的NiSi栅电极的功函数为4.40 eV。
参考来源 - Ni基全硅化物金属栅工艺、特性及表征技术研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
以上来源于: WordNet
A metal gate may be formed in the trench having a modified profile.
金属栅极可以形成在具有修正轮廓的沟槽中。
A method is provided for forming a metal gate using a gate last process.
本发明公开了一种利用后栅极工艺形成金属栅极的方法。
And refractory metal gate is considered to be the most promising candidate.
而难熔金属栅则被认为是最有希望的替代者。
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