化学气相沉积(CVD)及金属蚀刻(Metal Etch),在不同制程上会制造多种生成物,如氯化氨在反应腔体后段,真空管路内冷却,表面上容易凝结,这种沉积会影响管路通畅及降低角阀 开关...
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化学气相沉积（CVD）及金属蚀刻（Metal Etch），在不同制程 上会制造多种生成物，如氯化氨在反应腔体后段，真空管路内冷却， 表面上容易凝结，这种沉积会影响管路通畅及降低角...
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metal etch resist 金属腐蚀用光刻胶
KMER Kodak Metal Etch Resist 柯达金属抗腐蚀剂
Kodak Metal Etch Resist 柯达金属抗蚀剂
Metal film etch 金属薄膜蚀刻
metal trench Etch 金属沟槽刻蚀工艺
Based on 3.0um Al-gate process and studied the characteristics of the process, adopt Silicon Local Oxidation and P-N junction technology to realize device isolation. We developed a new technology: 2.0um Al-gate process, conquered roughness issue which caused by metal etch.
在深入研究了铝栅工艺特性的基础上,采用硅的局部氧化工艺与P-N结隔离工艺相结合的技术,成功地开发出2.0um超小型铝栅工艺,克服了3.0um工艺中栅控电压能力弱、金属刻蚀工艺复杂等技术难题,减小了漏电的风险并获得了很高的良品率。
参考来源 - 铝栅工艺特征尺寸小型化的研究与应用·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
Based on ash chamber of metal etch this paper describes the full process of dry clean development and evaluation.
本文以金属刻蚀去胶腔为背景，简述干刻清洗工艺开发和评价过程。
This unit group also includes workers who etch or chemically mill metal pieces.
此单元组还包括进行蚀刻或化学金属磨片的工人。
Heat damage generally is removed by carefully machining the base metal. Afterward, another temper etch inspection is done to ensure that the machining did not create more heat damage.
去除热损伤的方法是仔细切削本体金属，然后，再做一次回火刻蚀检查，确保切削工作没有产生进一步的热损伤。
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