圣地亚国家尝试室的研究职员将这种尺度水平的加工称为“亚微加工（meso-machining）”。 亚微加工所用的微型铣刀和微型车刀是授与聚焦离子束对硬质合金和高速钢刀坯原料举办雕蚀加工而成。
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中加工：中加工(meso-machining)是细小的铣刀和车刀是用聚焦离子束经过雕镂硬质合金及hss毛坯而制成的。用这种体例制成的立铣刀直径能够小至20μm支配。
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Meso尺度加工
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