...ME-3A型多功能机既可作反应离子刻蚀(RIE)，又可作磁增强反应离子刻蚀(MERIE)，且转换十分方便(只需拨一下开关)，由于有磁场的作用，它在较高真空度(< 1Pa)下亦可起辉并稳定工作，因此，它不仅可用于常规的半...
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它既可作反应离子刻蚀（RIE），又可作磁增强反应离子刻蚀（MERIE），不仅可用于常规的半导体干法刻蚀，也适用于亚微米级和边沿陡直图形的刻蚀。
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...蚀设备在过去20年中已得到了很大的改进,虽然其原理还是一样,但最大的改进在反应腔室周围加上磁场（Magnetic Enhanced RIE,MERIE)。
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