...微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜；晶圆（Wafer），光盘/硬盘（DVD Disk/Haed Disk），微机电组件（MEMS Components）
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mems components
微机电系统组件
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The characteristic size of MEMS components is from micron to millimeter.
MEMS器件的特征尺寸范围为几微米到几毫米。
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