微机电系统计算机辅助设计（MEMS CAD）可以加速MEMS器件的设计和制造过程，提高其性能和可靠性，对优化MEMS器件的结构、缩短开发周期和降低成本有重要意义。
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主要研究方向为微机电系统设计(MEMS CAD)技术及微惯性技术, 主..
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MEMS CAD key technologies 微机电系统CAD关键技术
mems cad
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Computer aided design (CAD) of Microelectromechanical systems (MEMS) is a significant foundation for commercialization of MEMS.
微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础。
youdao
RF MEMS switch is designed by computer aided design (CAD) method.
应用计算机辅助设计(CAD)方法模拟设计一种射频微机械(RF - MEMS)开关。
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