...用的微型机械加工方法的分类2.2 利用超精密加工工具加工微型器件2.2.1 微细磨削加工2.2.2 微细磨料加工2.2.3 微细放电加工(MEDM)2.2.4 金属丝放电磨削加工(WEDG)2.3 特种加工工艺2.3.1 激光束微细加工技术2.3.2 电子束微细加工技术2.3.3 聚焦离子束(FIB)微细加...
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微细电火花加工（MEDM）所用的机床如日本松下电气产业公司的MG-ED71，它的定位控制的分辩率为0.1μm，最小加工孔径达5μm，表面粗糙度达0.1μm。
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1基于常规机械的加工工艺 1.1微细电火花加工 微细电火花加工技术(MEDM)的研究起步于 558半导体技术第33卷第7期 20世纪60年代末,其基本原理是利用工具和工件 之间脉冲性火花放电时的电腐蚀现象来蚀除多...
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MEDM machine tool 微细电火花加工机床
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