一种新型半导体制造先进过程控制:双近似逆系统反馈控制[专业:微电子学与固体电子学] - docin.com豆丁网 干预;另一方面,如果要升级或作重大调整,系统就要重新设计。 – 11 – 1.2.1.3 预测控制 预测控制或称为模型预测控制(Model based Process Control, MBPC)是仅有的 成功应用于工业控制中的先进过程控制方法之一。 各类预测控制算法都有一些共同的特点,归结起来
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– 11 – 1.2.1.3 预测控制 预测控制或称为模型预测控制(Model based Process Control, MBPC)是仅有的 成功应用于工业控制中的先进过程控制方法之一。
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