... mass flow coefficient 质量流量系数 mass flow density 质量流密度 mass flow distribution 质量流量分布；质量流分布 ...
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The calculated results about the temperature and the mass flow density on the substrate are consistent with experimented ones.
结果表明，衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。
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