...大型精密、超精密平面度在线测量,则应采用 混合逐次两点(hstp)法,对于精密小平面工件,采用二维最小二乘插值逐次两点 (lsistp)法进行误差分离,2.1 测量误差源分析逐次两点误差分离方法是以采样公式(1)为分析处理基础的,但在 实际系统中,由于各种因素的影...
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