激光物理气相沉积(Laser Physics Vapour Deposition)
...特点,包括真空蒸镀、溅射镀、离子镀等;了解等离子化学气相沉积(PCVD)的原理、特点及发展趋势;了解激光物理气相沉积(LPVD);了解表面复合镀膜处理技术;了解多层硬质复合膜与纳米多层膜技术。
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中文题名: 用固体激光器的激光脉冲汽相沉积(LPVD)或者金属涂覆 外文题名: Laser pulse vapor deposition (OPVD) or metal coatings with solid state laser
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