...特点,包括真空蒸镀、溅射镀、离子镀等;了解等离子化学气相沉积(PCVD)的原理、特点及发展趋势;了解激光物理气相沉积(LPVD);了解表面复合镀膜处理技术;了解多层硬质复合膜与纳米多层膜技术。
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采用激光束照射蒸镀材料,激光高能量使蒸镀材料汽化,然后在基体上成膜就是激光物理气相沉积技术(LPVD)。由于激光具有的高能量,能汽化材料的范围很广,包括非导电陶瓷和高熔点材料,形成对PVD技术的强化。
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中文题名: 用固体激光器的激光脉冲汽相沉积(LPVD)或者金属涂覆 外文题名: Laser pulse vapor deposition (OPVD) or metal coatings with solid state laser
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