... 随着半导体工艺特征尺寸的减小 二氧化硅 百科 ，对薄膜的匀称性要求及膜厚的误差要求不停提高，出现了低压化学气相淀积(LPDVD)。低压化学气相淀积是指体系工作在较低的压强下的一种化学气相淀积的要领。
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