目前,激光分子束外延(LMBE)是制备高质量薄膜的优选方法,可实现薄膜的二维层状生长,精确控制薄膜的厚度和成分,进行原位实时检测与分析,达到薄膜原子尺度的外...
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...文中，利用带有原位反射式高能电予衍射仪（Reflection High Energy Electron Diffraction--RHEED）的激光分子束外延系统（LMBE）对LNO薄 膜的生长过程进行了研究。另外，采用脉沈激光沉积法（P王。
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