lithography process check
...自不同公司DFM工具取得的资料格式，试著与台积电工艺的资料格式相符;这些DFM工具包括光刻工艺检查（Lithography Process Check）、化学机械研磨分析（ ..
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台积电还提供一种微影制程检查(lithography process check，LPC)工具，这是一种采用模拟 的环境，能进行有可能引起良品率问题的图形设计分析。
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lithography process check
光刻工艺检查
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