本文选择惹人注视的两种电解质薄膜锂磷氧氮（LiPON）和锂钒硅氧（Li一V一Si一O）作为研讨对象，立异的地方在于初次采取PLD技巧制备了LiPON 薄膜和Li一V一Si一O 薄膜，考核了各类堆积...
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利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.
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