机械工程学报 01) 摘要: 给出采用原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)测量线宽粗糙度(Line width roughness,LWR)的分析步骤。分析线宽和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度变化的关系,线宽及其偏差和LWR及其偏差随
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机械工程学报 01) 摘要: 给出采用原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)测量线宽粗糙度(Line width roughness,LWR)的分析步骤。分析线宽和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度变化的关系,线宽及其偏差和LWR及其偏差随
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...百科大全,百科知识网 photosensitivity),线边沿粗糙度(Line Edge Roughness,LER),以及线宽粗糙度(Line Width Roughness,LWR)等。目前超紫外线光阻的敏感性和光学穿透率使得超紫外线光源的可用频宽超紫外线光阻剂性能订在2 %以内。
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The line width of nanostructures is influenced by many factors such as tip curvature radius, detained time in the base surface, scanning speed, humidity, surface roughness etc.
尖端曲率半径、针尖在基底表面滞留时间、针尖扫描速度、空气湿度、表面粗糙度等均会影响纳米结构的线宽。
The line broad increases and is changed into width with sample surface roughness.
线宽随着样品表面粗糙度增加而变宽。
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