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lecvd

网络释义

  光增强化学气相沉积

常用CVD工艺有等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体辅助化学气相沉积 (PACVD)、激光增强化学气相沉积 (LECVD)。

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- 来自原声例句
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