获得薄层具有定义良好的结构在纳米尺度水平低能量团簇束的沉积（LECBD）的被认为是一个有趣的技术，使新型的光学，电子和磁特性。所产生的层是高度多孔，极易反应，由于高的表面与体积比，必须原位技术...
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利用低能中性团簇束流淀积（LECBD）方法制备硅团簇薄膜，观察到Si团簇特殊的分形生长现象，并对此非平衡动力学过程作初步的探讨。
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