atomic layer epitaxial growth system 原子层磊晶生长系统
epitaxial layer [电子] 外延层 ; 外延生长膜 ; 取向附生层
layer-by-layer epitaxial growth 层状外延生长
liquid phase epitaxial layer 液相外延生长层
Epitaxial Silicon Layer 磊晶硅层 ; 成长一层硅磊晶层
doped epitaxial layer 掺杂外延层
Se doped epitaxial layer 掺Se外延层
epitaxial layer base transistor 多层外延基区晶体管
aln and gan epitaxial layer aln和gan外延层
Epitaxial deposition is then used to form an epitaxial layer on the epitaxy surface.
外延沉积接着用以形成一外延层于该外延表面上。
The experimental results prove that the fall time of IGBT increases when increasing the thickness of the epitaxial layer.
实验结果证明IGBT的下降时间随着外延层厚度的增加而增加。
For the parameter of the epitaxial layer, putting forward a series of measures that let up or repress deposition and self-doping when the epilayer processing, improve the epilayer quality.
对于外延层必须达到的工艺参数，提出了一系列减小或抑制外延过程中扩散效应和自掺杂效应的工艺措施和方案，使外延层质量有了明显的提高；
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