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The significance of this article is to propose an effective semi-conductor IC manufacturing process that provides vertical NPN, vertical PNP and lateral PNP transistors.
本研究对生产实际的指导意义在于，有效的提供了一种半导体集成电路制造工艺，能够同时提供纵向NPN晶体管，纵向PN P晶体管以及横向PN P晶体管。
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