reactively pulsed laser sputtering deposition 反应式脉冲激光溅射淀积
laser sputtering
激光溅射
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Some basic law and characteristics of laser sputtering and film growth process, revealed by a lot of experiment studies are described in detail.
重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。
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