[摘要] 公开了一种半导体器件中形成插孔接触点(landing plug contacts)的方法。该方法包括如下步骤：在衬底上形成多个栅极结构，每个栅极结构包括一个栅极硬掩模；在栅极结构上形成一个层间绝缘层；通...
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landing plug contacts
着陆插头触点
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