...研发及制造技术展览会暨研讨会（finetech japan，2008年4月16日～18日，东京有明国际会展中心）的德国库卡机器人（kuka roboter）的展区展出了该工具。 可利用工具一侧的超声波振动使工具上方和晶圆下方的空气薄膜的压力增大。
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测振仪机器人公司(KUKA Roboter)的 测振仪机器人上的德国Polytec的传感器系统&.
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作为机器人技术与自动化技术领域的专家，库卡机器人公司(KUKA Roboter)是世界领先的工业机器人制造商之一。
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