颗 尺寸小于最小特征尺寸的十分之一 手缺陷/致命缺陷(killer defects): 于元件重要部位,使元件功能损坏的颗 .
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...多的研究发现，洁净室 空气中存在的 AMCs，将会对不同制 程产生不良的影响，严重时可能对产 品造成致命的缺陷（killer defects）而 影响良率。
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killer defects
杀手的缺陷
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