・・・・・ 高速1次元X线検出器による逆格子マップ测定～SiGe薄膜の格子歪み量（缓和率）の评価～ SiGe（シリコンゲルマニウム）を応用したトランジスターは、消费电力が小さく、高速で动作します。
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薄膜の格子歪み量
薄膜晶格畸变量
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