利用现场水汽生成(in-situsteamgeneration,ISSG)退火这种新型的低压快速氧化热退火技术,在对沉积二氧化硅薄膜热退火的同时进行补偿氧化生长,最终实现了沉...
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集成电路及集成电路的制造方法-建筑采矿 IPC分类 H01L 21/82、H01L 21/316、H01L 27/04、H01L 29/78 - 专利信息平台 | 我们致力于提供专业的专利信息交流服务平台! 08840#08-09 ODC 城通关道30号 发明(设计)人 董忠、陈计良、陈庆华 摘要 本发明揭示一种利用现场蒸气产生技术(in-suit steam generation,ISSG)以降低硅及氧化硅区域中的氮浓度,且提供可预期的氧化硅厚度。 去 Sopatent 察看专利全文
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