中微指出，这次推出的离子蚀刻机(ion etch)及高压化学气相沉积设备较其他市面上设备生产力提升约35%，换句话说，理论上成本也可降低35%，目前2套设备皆已正式出货，主要以亚...
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reactive ion etch 活性离子腐蚀 ; 离子蚀刻
reactive ion etch resistance 耐活性离子腐蚀性
reactive ion etch system 活性离子腐蚀系统
Reaction Ion Etch 反应离子刻蚀法
Magnetron Reactive Ion Etch 磁电管反应离子刻蚀
Reactive ion etch mode 反应性离子蚀刻型
Deep Reactive Ion Etch 深度反应离子刻蚀 ; 深度反应离子蚀刻
RIE-Reactive Ion Etch 反应离子刻蚀
Reactive Ion Etch-RIE 平行电极刻蚀反应室
We choose silicon as the material of microchannel heatsink, deposite SiN coat on the microchannel and using the tecchnic of react ion etch to etch the pattern on it, and cautery it with anisotropy method.
本文选择硅做微通道热沉材料，微通道的刻蚀采用沉积氮化硅膜做掩膜，采用反应离子刻蚀方法刻蚀出微通道图形窗口，再采用各向异性的腐蚀方法完成。
参考来源 - 高功率半导体激光器微通道热沉研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
And all of the foundries utilize similar equipment, which includes deep reactive ion etch tools and wafer bonders.
所有芯片制造厂都使用类似的设备，包括深反应离子蚀刻工具和晶片键合机。
The influence of chamber pressure, gas flow rate and RF power on micro loading effect in reactive ion etch of silicon dioxide is researched.
对二氧化硅反应离子刻蚀中反应室压力，刻蚀气体流量和射频功率等因素对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响进行了研究。
Last, a technique known as anisotropic ion beam milling (IBM) is used to etch through the mask to make an array of holes, creating the nanoporous metal.
最后，采用各项异性的离子束(IBM)加工技术可以通过掩膜来蚀刻孔阵，以制成纳米多孔金属材料。
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