本征扩散（Intrinsic diffusion）： 主要依赖热缺陷进行的扩散叫本征扩散。在杂质原子往半导体中进行热扩散时，如果杂质原子的浓度小于热扩散温度下半导体中的本征...
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Intrinsic diffusion coefficient 本征扩散系数
intrinsic lattice diffusion 点阵扩散
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