... interlevel oxidation 层间氧化 interlevel alignment 层间对准 interlevel dielectric 夹层电介质 ; 间介电 ...
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3.2 国内外研究状况 溅镀「铝（矽铜）/氮化钛扩散阻抗层与SiO 2 阶梯间介电（Interlevel Dielectric） 薄膜是积体电路元件（IC）应用最广泛的内连接（Interconnection）导线系统， 由于铜与矽晶基材具有低附著性、高扩散性及高化学反...
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3-D MIM电容器被整合在一种层间电介质(interlevel dielectric，ILD)之中，电介质的上层采用了一种3D波形花纹架构。
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