ion implanter 离子布植机 ; 離子植入机
oxygen implanter 氧离子注入器
high output implanter 高功率离子注入装置
high current implanter 大电岭子注入装置 ; 大电流电子注入装置
radon seed implanter 氡放射源植入器
high energy ion implanter 高能量离子值入机
low energy ion implanter 低能量离子注入机
high current ion implanter 大电流离子值入机 ; 高碳钢
medium energy ion implanter 中能量离子注入机
The invention also relates to a method of using said implanter.
本发明还涉及使用所述注入机的方法。
The invention relates to a wafer clamp for an ion implanter which belongs to the field of semiconductor equipment manufacture.
本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹，属于半导体装备制造领域。
Introduced the configuration of typical ion implanter, analyzed the importance of the implantation mechanical scanning technology.
简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。
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