32nm工艺芯片的实际投产，需要新的设备，如沉浸式步进器(Immersion Stepper)——这是一种价值数百万美元的机器，它在镜头和硅晶圆之间使用纯净水向微芯片上绘极细极细的电路线。
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immersion stepper
浸没式步进
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