其注入的方法目前就有束线离子注入(IBII)、等离子体源离子注入(PSII),以及多功能等离子体浸没离子注入(PIII)等.
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目前Ti6Al4V 合金氮离子注入主要有两 种方法：一种是常规离子束离子注入（IBII），另一 种是等离子体淹没离子注入（SIII），BIII 因克服了 传统 IBII 法固有的“视线过程”的缺陷而具有更大 的优越性。
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