离子束增强沉积(Ion Beam Enhanced Deposition)
1 离子注入与气相沉积复合处理 离子束辅助沉积 ( IBAD) 与离子束增强沉积 ( IBED) 是把离子注入技术和气相沉积镀膜技术相 结合的复合表面离子处理技术。
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离子束辅助沉积(IBED)是薄 膜合成的新技术,在控制薄膜生长取向方面有着显
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该项目通过碳膜的结构设计和利用离子束辅助沉积法(IBED),成功地获得了以SP2结构为主的碳膜,有效地改善刀具切削耐磨性能。
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1 试验设备及工艺参数 离子束辅助沉积技术(IBED)是一种将离子注入和磁控溅 射沉积薄膜技术结合起来的材料表面改性新技术。
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