...、单晶多层薄膜厚度、密度、粗燥度进行精确分析; 材料微区分析:对于小于500微米的区域进行分析; 高分辨衍射(HRXRD):针对高质量的外延薄膜、单晶材料,开展摇摆曲线,倒易空间mapping分析。
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高分辨X射线衍射
HRXRD- 高分辨率X射线衍射仪
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