2、应用高分辨X射线衍射技术（HRXRD）的GaN材料晶格参数精确测量方法,深入研究了GaN基异质结构材料水平和垂直方向的应变情况;同时利用Williamson-Hall方法测量了外延材...
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Bea 等 [33] 指出需要将高分辨率X 射线衍射(high resolution X-ray diffraction，HRXRD)的扫描范围推 到 93°～98°并对高指数 γ-Fe 2 O 3 峰进行长时间扫 描，才可以判断是否...
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...、单晶多层薄膜厚度、密度、粗燥度进行精确分析； 材料微区分析：对于小于500微米的区域进行分析； 高分辨衍射(HRXRD)：针对高质量的外延薄膜、单晶材料，开展摇摆曲线，倒易空间mapping分析。
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HRXRD- 高分辨率X射线衍射仪
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