扩大电阻法(SRP)预示ZrO2薄膜的电阻率在108Ω·cm以上，路程经过过程高分辩率透射电镜(HR-XTEM)可以不雅察ZrO2/Si界面陡直，没有界面反映产品,证实600?C迅速退火后ZrO2薄膜长短晶布局。
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