从1994年开始，广州万宝电气集团公司引进日本日立（Hitach）公司空调用涡旋式制冷压缩机生产线，并开始批量生产。1996、1997年又相继在西安、苏州兴建了空调涡旋式压缩机生产厂。
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...米制程设备方面，囊括了5大设备商包括应用材料（AppliedMaterials）、科林研发（LAM）、东京威力科创（TEL）、日立先端（Hitach）、中微半导体。中微是唯一打入台积电7纳米制程蚀刻设备的大陆本土设备商。
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蒸汽吹扫判定标准（HITACH） 项目判定标准 痕迹大小 痕迹粒数 次数 φ 0.3mm 以下 少于5 个/100mm*100mm 连续两次吹扫，均应达到上述标准 3.3 气体吹扫 3.3....
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