12-BG68784 高功率脉冲磁控管溅射(HIPIMS)中的电弧抑制和脉动 13-BG68784 针对高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的RF衬底偏压
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磁控溅射技术(High Power Impulse Magnetron Sputtering)
...讲述了PVD制备MAX相涂层的阶段进展，并重点结合双方在宁波市国际合作项目中的内容，介绍了新兴高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）在超硬纳米复合薄膜材料研究中已取得的积极结果。
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下一代技能 高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS或HPPMS)是一种新式磁控溅射技能，它能在50~200微秒的时间内发生kW/cm2量级的超高能脉冲，其重复频率能够到达100Hz以上。
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反应大功率脉冲磁控溅射（HIPIMS）的Al和Ce中的Ar-O2的气氛中的脉冲频率和作为一个功能的泵送速度的目标过程中的过渡区的特性进行了研究。
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