2-6-3 铝合金薄膜 突起 ( Hillocks )与孔洞形成机制 33 第三章 实验仪器与方法 39
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... 电力析出 Electric precipitation 析出石墨 indigenousgraphite 异常析出 hillocks ...
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所谓金属电迁移失效, 通常是指金聪层圆金埔离子的迁移在局部区域由质最堆积(Pi]eup)而出现小丘 (Hillocks)或品须,或由质量亏损出现空洞(v01ds)而造成的器件或互连性能退化或 失效.在实际电路中电迁移是要极力避免的。
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废石堆
小丘
矸石堆
岗
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小丘
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参考来源 - 铝膜反射镜60 keV质子辐照效应 The effects of 60 keV proton irradiation on aluminum film reflector
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