...获得类金刚石膜，沉积温度低，沉积速率高，且由于沉积过程没有氢的参与，避免了由氢引起的负 作用，制备的无氢类金刚石膜(HFDLc)具有与基体结合牢，硬度高以及摩擦系数不受环境湿度
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