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hfcvd

网络释义

  热丝化学气相沉积

热丝化学气相沉积(HFCVD)是大面积生长金刚石膜的有效方法,在生长过程中衬底温度的高低和均匀性是影响金刚石膜生长的关键因素。

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  CVD法

上海交通大学工程硕士学位论文热丝CVD法制备金刚石薄膜212.5本章小结试验用热丝CVD法HFCVD)在硬质合金YG6衬底上沉积获得低摩擦系数金刚石薄膜的结构和性能进行了研究,比较了常规CVD金刚石薄膜与低摩擦系数CVD金刚石薄膜结...

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  化学气相沉积

可以用常见的薄膜沉积方法如等离子增强化学气相沉积( PECVD) 、热丝辅助化学气相沉积( HFCVD) 、分子束外延( MBE) 、物理气相沉积(PVD)和磁控溅射等来沉积SiC 薄膜,其中PVD 法沉积的SiC 薄膜有较低的摩擦系数,但与金属基材...

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短语

HFCVD or HWCVD 热丝化学气相沉积法

EA-HFCVD 电子辅助

RF HFCVD 射频等离子体增强热丝化学气相沉积

双语例句

  • B-doped diamond films were grown on graphite substrates by hot filament assisted CVD method (HFCVD).

    采用固体三氧化二辅助化学气相沉积石墨衬底上沉积了掺硼金刚石涂层。

    youdao

  • In HFCVD system the substrate temperature is a key factor which deeply affects the quality of diamond films.

    热丝化学气相沉积金刚石系统中,衬底温度影响金刚石成膜质量关键因素之一。

    youdao

  • The initial growth process of diamond grain synthesized by HFCVD method was investigated by using XL30FEG SEM.

    XL 30feg扫描电镜热丝化学气相沉积(HFCVD)合成金刚石颗粒初期生长过程进行了研究

    youdao

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