本文采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积(HF-RF-PECVD)技术，以CH4为反应气体，在不同的催化剂衬底上生长定向碳纳米管阵列膜，对定向碳纳米管的生长参数如催化剂种类、衬底温度、气体流...
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