...TiO3/AlGaN异质薄膜白勺外延生长,并对其电学性能停止了分析,通过正负偏压温度处理方法分析了可动电荷密度,采用高频准静态(HF-QS)方法分析了异质薄膜白勺界面特性,得到了优化白勺生长工艺条件。主要内容如下:1.
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